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　　四极质谱仪用于监控过程气体和基本真空条件的工具是Transpector XPR3L气体分析系统提供的经济高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于大限度提高过程良率和产物质量。XPR3L 提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染，提高预防性维护程序的有效性和效率。
 

　　一、四极质谱仪的功能：
 

　　通过运行高达 10mTorr(可选 20mTorr)的 UHV，提供经济实惠的双用功能、过程监控和基本真空保证；
 

　　经济高效的过程监控器，可用于可扩展的生产设计；
 

　　通过持续自动监控过程气体压力、气体比率和可能存在的污染或杂质，提高过程良率，减少碎片，提高产物质量；
 

　　通过以高灵敏度和较小可检分压强验证基本真空条件、查找泄漏以及鉴别污染，加快 PM 恢复，提高生产力；
 

　　可在 1 - 100 amu 质量范围内运行，能够检测各种材料、污染或副产物，确保您的投资安全，降低投资风险；
 

　　与 FabGuard 监控和分析系统相兼容，提供可靠、先进的诊断和过程控制。
 

　　二、四极质谱仪的典型应用:
 

　　太阳能/光伏设备制造
 

　　LCD 制造
 

　　PVD 过程监控
 

　　监控过程气体压力和气体比率
 

　　暴露和鉴别污染
 

　　检测和查找泄漏(空气、氦气、水及其他蒸汽)
 

　　PM 恢复/故障排除和验证基本真空